半导体微纳加工实验室-半导体研究所-广东半导体微纳加工

半导体微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，半导体微纳加工技术，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

　mems压力传感器类型众多，其中属硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器应用为广泛，技术为成熟。

　　涉及的主要工艺流程包括：薄膜制备、刻蚀、键合、封装。

　　运用到大量且复杂的mems设计工艺技术，有：薄膜制备技术、溅射技术、掺杂技术、刻蚀技术、键合技术、封装技术等。

　　在实际操作中，工艺步骤设计应该以简单、高成本效益为原则，根据终设计方案的差异，工艺流程也有不同。

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微纳制造可以应用在什么哪些领域？

　微纳制造作为新兴产业发展的重大关键技术之一，对装备实力和---技术的发展起到重要作用。微纳制造技术的进步，推动着三大科技的发展：生物技术、信息技术、纳米技术。

　　由于微纳制造技术产品有体积小、集成度高、重量轻、智能化程度---诸多优点，在信息科学、生物、航空航天等领域广泛的应用。

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