lpcvd真空镀膜外协-辽宁真空镀膜外协-半导体测试

真空镀膜外协mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

3试验

3.1试验目的

熟悉真空镀膜的操作过程和方法。

了解磁控溅射镀膜的原理及方法。

学会使用磁控溅射镀膜技术。

研究不同工作气压对镀膜影响。

3.2试验设备

saj-500真空磁控溅射镀膜机(配有纯铜靶材) ;气瓶;陶瓷基片;擦镜纸。

3.3试验原理

3.3. 1磁控溅射沉积镀膜机理

磁控溅射系统是在基本的二极溅射系统发展而来，解决二极溅射镀膜速度比蒸镀慢很多、等离子体的离化率低和基片的热效应明显的问题。磁控溅射系统在阴极靶材的背后放置强力磁铁，真空室充入0.1~ 10pa压力的惰性气体(ar)，作为气体放电的载体。

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真空镀膜外协mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

上一次小编带大家快速了解了电子束蒸发镀膜机，今天我们来---磁控溅射设备的主要用途有哪些？什么？你不知道什么是磁控溅射？

上一次小编提到了一个词是pvd，功率器件真空镀膜外协，即物理气相沉积，电子束是pvd的一种，磁控溅射也一样。电子束一般用于对镀膜材料有高纯度高标准要求的领域，辽宁真空镀膜外协，而磁控溅射一般的应用更日常一些，比如爷爷奶奶的半导体、常见的绝缘体材料、一些手机壳，这下不再觉得磁控溅射遥远了吧。而且磁控溅射的优点也很明显、很接地气：设备简单、易于操控、镀膜面积大等等。早在上世纪七八十年代，磁控溅射设备就完成低速高温低损伤。