半导体微纳加工加工-福建微纳加工加工-半导体微纳

微纳加工加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在mems加工工艺中，从上到毫米，再下到微米的微结构加工技术都可称之为mems工艺制造，其在半导体和微电子工艺基础上发展而来，以光刻，镀膜，刻蚀，功率器件微纳加工加工，外延，氧化，溅射等许多基本的工艺制造复杂立体的三维微加工技术。与传统机械系统相比，不仅体现在很小的体积方面，其在力学i，运动学，材料特性等方面都有---差异！?

　　但无论哪种微小原件都离不开光刻，刻蚀，镀膜三大方面，就是在一个或多个循环的基础上形成我们想要得到的元器件，半导体微纳加工加工，在这个过程中又以光刻技术为重要，所有的mems工艺都离不开光刻。光刻的好坏直接影响后续的镀膜刻蚀等工艺成败。因此在光刻过程中尤其注意图形分辨率以及套刻精度等方面的影响。

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mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，福建微纳加工加工，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

mems设计之硅压阻式压力传感器设计

　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备---线性输出，要考虑其zui大变形量，敏感薄膜表面zui大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。

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