镀膜微纳加工制作-湖南微纳加工制作-半导体测试

微纳加工制作——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

在mems加工工艺中，从上到毫米，再下到微米的微结构加工技术都可称之为mems工艺制造，其在半导体和微电子工艺基础上发展而来，以光刻，镀膜，湖南微纳加工制作，刻蚀，外延，氧化，溅射等许多基本的工艺制造复杂立体的三维微加工技术。与传统机械系统相比，不仅体现在很小的体积方面，其在力学i，运动学，材料特性等方面都有---差异！?

　　但无论哪种微小原件都离不开光刻，刻蚀，镀膜三大方面，镀膜微纳加工制作，就是在一个或多个循环的基础上形成我们想要得到的元器件，在这个过程中又以光刻技术为重要，所有的mems工艺都离不开光刻。光刻的好坏直接影响后续的镀膜刻蚀等工艺成败。因此在光刻过程中尤其注意图形分辨率以及套刻精度等方面的影响。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多微纳加工制作~

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　　mems代工的湿度传感器是由简单的湿敏电阻（电容）制作而成，湿敏电阻和湿敏电容测量湿度的原理呢？则是由湿敏电阻上面覆盖的一层高分子膜，这层膜会随着湿度的变化影响电阻的电导值或者电容的电容值，利用这种特性可以完成湿度传感器对环境湿度的测量。

　　湿敏元器件可以分为：电阻器式和电容传感器二种：

１、湿敏电阻的特性是在基片上遮盖一层用感湿原材料做成的膜，当空气中的水蒸汽吸咐在感湿膜上时，元器件的电阻和阻值都产生变化，电子束---微纳加工制作，运用这一特点就可以测量湿度；2、湿敏电容器一般是用高分子材料薄膜电容做成的，常见的纤维材料有聚乙烯、聚酰膜、酪酸---纤维等。当自然环境湿度发生改变时，湿敏电容器的导热系数产生变化，使其容量也产生变化，其电容器变化量与相对性湿度正比。

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