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ebl微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，广州ebl微纳加工，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

mems器件常用的mems加工方法主要有表面微加工，体硅微加工，liga，soi等。

1、表面微加工：一种是在硅衬底表面采用方法生成薄膜，并和衬底构成一个复合整体的薄膜加工方法，另一种是通过腐形成程空腔的---层加工方法。

2、体硅微加工：指通过多种刻蚀技术去除基底材料后，得到目标三维结构的技术加工。

3、liga：即光刻、电铸及塑铸，主要包括三个工艺步骤，x---同步辐射光刻、电铸制膜和注膜。

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微纳技术制造的未来发展与趋势

制造业的发展，目前对加工精度的的要求越来越高，ebl微纳加工多少钱，微纳制造伴随着应运而生。截至到目前为止，微纳技术在国i防军i工及民用产品已经得到广泛应用，---体现在纳米级机械加工、电子束、liga技术和扫描隧道显微加工技术、看离子束加工等领域，应用十分广泛。