阳极键合微纳加工平台-辽宁阳极键合微纳加工-半导体研究所

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微纳技术的应用领域也得到了比较大拓展。

仿生学是近年来发展起来的一门工程技术与生物科学相结合的交叉学科。仿生学研究生物体的结构、功能和工作原理，并将这些原理移植于工程技术之中，试图在技术上模仿植物和动物在自然中的功能，发明性能的仪器、装置和机器，创造新技术。就聚合物仿生功能材料而言，在聚合物材料表面加工出不同形式的微纳结构就会赋予材料不同的性能。超疏水表面是指水滴在表面的接触角大于150°，同时滚动角小于10°的一种特殊表面。在过去的20年里，超疏水表面---的潜在应用价值已经引起了科学家们---的兴趣。自然界中，荷叶表面是超疏水的典型象征，其表面的接触角---160°。展示了荷叶的超疏水效果及其表面微观结构。荷叶表面的这种超疏水特性是由微米乳突和低表面能的蜡状晶体共同引起的。通过在聚合物材料表面构建类荷叶状的周期性微纳米结构可以获得具有优异超疏水性能的聚合物制品，可用于汽车后视镜等有防水防雾需求的场合。

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在传统加工方法上发展起来的微机械加工技术，如微车削、微铣削、微磨削技术等。

 微纳制造技术属国际技术，作为未来制造业赖以生存的基础和可持续发展的关键，其研发和应用标志着人类可以在微、纳米尺度认识和改造。以聚合物为基础材料的微纳系统在整个微纳系统中占有极其重要---，是较具产业化开发前景的微纳系统之一，聚合物微纳制造技术也已经开始得到应用并具有---的发展空间。集中介绍了多种典型聚合物微纳器件及系统，阳极键合微纳加工制作，并对微注塑成型、微挤出成型和微纳压印成型等聚合物微纳制造技术进行了系统的阐述，比较了各种聚合物微纳制造技术的优缺点和使用条件。末尾，结合---研究人员的研究成果，对聚合物微纳制造技术的未来发展做出展望。