真空镀膜微纳加工实验室-贵州真空镀膜微纳加工-半导体镀膜

真空镀膜微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工的动力学原理

由于能量集中度高、热影响区域小、没有残渣飞溅和熔渣、不需要特殊的气体环境、没有后续工艺、双光子聚合加工精度高（精度可达到0.7um）等优势，在精细加工及微纳加工技术的隐形切割方面都取得了很大的进展。

　　根据不同的特性，贵州真空镀膜微纳加工，作用的领域也不尽相同：

1、其热影响区域小，加工精度高可用于表面微加工及纳米级深孔加工工艺；

2、根据其加工精度高，微型化能力强可用于光通信领域中光波导、光栅、光子晶体、微通道等的制备；

3、根据其“冷”加工，能量消耗低、准确度高的优点，可在生物领域有很强的应用前景。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多真空镀膜微纳加工~

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工制造用纯电子气体

“微纳加工制造用纯电子气体”是在2017年度重点研发计划，是由多家企业和多所高校联合申请，真空镀膜微纳加工实验室，该项目研究很大程度上可以促进微纳电子制造用------材料的国产化电子气体在半导体领域应用十分广泛，在薄膜，光刻，刻蚀，掺杂，气相沉积以及扩散等环节都有所应用，是支撑半导体发展必不i可少的基础性原材料。

欢迎来电咨询半导体研究所了解更多真空镀膜微纳加工~