贵州微纳加工平台-半导体加工-真空镀膜微纳加工平台

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工是随着mems的发展而发展起来的，mems是随着半导体集成电路微加工而发展起来的。目前，微纳加工主要应用于微流控芯片等领域，进行生物化学实验室技术流程的芯片集成化。

微纳加工涉及的mems主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，半导体微纳加工平台，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的新成果的基础上发展起来的---学科。

mems融合了很多微米级的加工技术，它的技术发展，开辟了一个全新的技术领域和产业，采用mnems技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。mems技术正发展成为一个---的产业，目前mems市场的---产品为压力加速度计、传感器、墨水喷咀、微陀螺仪和硬盘驱动头等。