硅硅键合微纳加工委托加工-甘肃微纳加工委托加工-半导体测试

微纳加工委托加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，半导体微纳加工委托加工，以及行业应用技术开发。

微纳加工的动力学原理

由于能量集中度高、热影响区域小、没有残渣飞溅和熔渣、不需要特殊的气体环境、没有后续工艺、双光子聚合加工精度高（精度可达到0.7um）等优势，在精细加工及微纳加工技术的隐形切割方面都取得了很大的进展。

　　根据不同的特性，作用的领域也不尽相同：

1、其热影响区域小，加工精度高可用于表面微加工及纳米级深孔加工工艺；

2、根据其加工精度高，微型化能力强可用于光通信领域中光波导、光栅、光子晶体、微通道等的制备；

3、根据其“冷”加工，能量消耗低、准确度高的优点，可在生物领域有很强的应用前景。

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mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

mems设计之硅压阻式压力传感器设计

　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，光电器件微纳加工委托加工，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备---线性输出，要考虑其zui大变形量，敏感薄膜表面zui大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。

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