硅真空镀膜外协-河北真空镀膜外协-半导体微纳

真空镀膜外协mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

cvd镀膜设备种类繁多，当前pecvd为主流技术，未来市占率有望进一步提升。cvd是指利用气态或蒸汽态的物质在气相或气固界面上发生反应生成固态沉积物的过程，是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、---物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素间化合物，铁金属真空镀膜外协，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程控制。cvd镀膜重复性和台阶覆盖性较好，可用于sio2、si3n4、psg、bpsg、teos等介质薄膜，以及半导体、金属（w）、各类金属有机化合物薄膜沉积。cvd种类繁多，根据腔室压力、外部能量等不同，可大致分为 apcvd、lpcvd、sacvd、 pecvd、mocvd等类别。cvd设备反应源容易获得、镀膜成分多样、设备相对简单、---适用于在形状复杂的零件表面和内孔镀膜。

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真空镀膜外协mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，硅真空镀膜外协，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

真空镀膜冷水机结构：

1、真空泵（进口）；

2、水箱、水泵；

3、冷却塔；

4、冷凝器；

5、压缩机；

6、过滤器；

7、膨胀阀；

8、压力表；

9、电控箱。

真空泵的作用是将压缩空气进行减压，然后送到水箱里。

水箱的作用是储存冷媒水，并起到散热作用。 水泵的作用是将冷媒水加压送入冷却塔中。 冷凝器的作用是使进入蒸发器的热交换气体降温，同时将制冷剂在蒸发器中的液化气放掉一部分。

膨胀阀的作用是当制冷系统出现故障时自动开启排气口，释放出系统中多余的压力和热量。

电控柜的功能是对整个系统的控制及保护功能。（包括对温度的控制、压力的监控、过电流的保护等等）。