河北等离子体增强气相沉积真空镀膜-半导体镀膜

等离子体增强气相沉积真空镀膜mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，等离子体增强气相沉积真空镀膜加工厂商，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

离子束溅射装置中，由离子提供一定能量的定向离子束轰击靶极产生溅射。离子可以兼作衬底的清洁处理和对靶极的溅射。为避免在绝缘的固体表面产生电荷堆积，可采用荷能中性束的溅射。中性束是荷能正离子在脱离离子之前由电子中和所致。离子束溅射广泛应用于表面分析仪器中，对样品进行清洁处理或剥层处理。由于束斑大小有限，用于大面积衬底的快速薄膜淀积尚有困难。　等离子体溅射也称辉光放电溅射。产生溅射所需的正离子来源于辉光放电中的等离子区。靶极表面必须是一个高的负电位，正离子被此电场加速后获得动能轰击靶极产生溅射，同时不可避免地发生电子对衬底的轰击。

     真空镀膜机磁控溅射工艺，也分好几种，主要有二级溅射、三级或四级溅射、磁控溅射、对靶溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流射频溅射、离子束溅射以及反应溅射等，选择哪一种溅射方法，具体要看镀什么工件，工件是什么材质，镀什么膜层而决定。