湖南微纳加工平台-半导体微纳-键合微纳加工平台

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

新一代微纳制造系统应满足的要求：能生产多种多样高度复杂的微纳产品。

在微纳加工过程中，薄膜的形成方法主要为物理沉积、化学沉积和混合方法沉积。蒸发沉积（热蒸发、电子束蒸发）和溅射沉积是典型的物理方法，主要用于沉积金属单质薄膜、合金薄膜、化合物等。热蒸发是在高真空下，键合微纳加工平台，利用电阻加热至材料的熔化温度，使其蒸发至基底表面形成薄膜，而电子束蒸发为使用电子束加热；磁控溅射在高真空，在电场的作用下，ar气被电离为ar离子高能量轰击靶材，生物芯片微纳加工平台，使靶材发生溅射并沉积于基底；磁控溅射方法沉积的薄膜纯度高、致密性好，热蒸发主要用于沉积低熔点金属薄膜或者厚膜；化学气相沉积（cvd）是典型的化学方法而等离子体增强化学气相沉积（pecvd）是物理与化学相结合的混合方法，cvd和pecvd主要用于生长氮化硅、氧化硅等介质膜。

欢迎来电咨询半导体研究所哟~

mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

对于企业来说，选择微纳加工可以---企业暂时没有研发设备、材料和大量资金进行运作;或者说产品的周期比较短却需要快速扩---，这时微纳加工就是---的选择。这样的企业、科研机构或者高校，可以选择两种微纳加工模式︰

1.外包给纯微纳加工公司;或者外包mems制造和设计给微纳加工公司。

2.外包部分。企业自己设计，刻蚀微纳加工平台，微纳加工公司进行执行。企业需要微纳加工公司进行设计支持，也可提供---等。

微纳加工模式的好处在于:相比企业投入大量的设备和资金，微纳加工只需投入少量的研发费用，就能获得同样的结果，是新型公司的选择。