四川微纳加工外协-半导体加工-真空镀膜微纳加工外协

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，四川微纳加工外协，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工中emi溅射镀膜的特点

微纳加工中的emi：是电磁波会与电子元件作用，产生干扰现象。它有以下几个特点：

a、如果国内拥有自主---的话，价格相比较---。

b、，真空溅射属于制程，可以做到无污染。

c、虽然真空溅射加工的金属薄膜厚度只有0.5～2μm，但不会影响装配。

d、在材料选择上没有---，在常见的常温固态导电金属及有机材料、绝缘材料皆可使用。

e、emi膜质致密均匀、膜厚容易控制。

f、被溅射基材几制。

g、它的附著力强（可用astm3599的方法测试4b）。

h、可同时搭配多种不同溅射材料之多层膜，且可随客户变换镀层次序。