湖南微纳加工外协-半导体测试-键合微纳加工外协

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

光学微纳制造技术是什么？

芯片制造的核u心是光学微纳加工，它的参数包括：分辨力、套刻精度、视场、加工速度等等。光学微纳加工的作用便是将掩膜版上的图形转移到代加工的基片上。由于传统技术常受限于光学衍射---，原来主要是通过缩短光源的波长，用来增大光学系统中物镜的数值孔径来提高分辨力，但这仍然存在很大的---。目前，光学微纳制造加工技术面临着的新的基于和挑战，未来仍有一断很长的路要走。

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mems设计之硅压阻式压力传感器设计

　mems设计之硅压阻式压力传感器，顾名思义就是通过感知压力变化工作的传感器，其原理是敏感膜受压后发生形变，引起惠斯通电桥的不平衡变化，继而改变输出电信号。在传感器设计上，为了使传感器具备---线性输出，键合微纳加工外协，要考虑其zui大变形量，敏感薄膜表面zui大应力差以及敏感芯片的压敏电阻变化率，以满足器件抗过载和输出灵敏度的要求。

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