ito镀膜真空镀膜mems真空镀膜加工平台——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,海南ito镀膜真空镀膜,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,立足于广东省经济社会发展的实际需要,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
3试验
3.1试验目的
熟悉真空镀膜的操作过程和方法。
了解磁控溅射镀膜的原理及方法。
学会使用磁控溅射镀膜技术。
研究不同工作气压对镀膜影响。
3.2试验设备
saj-500真空磁控溅射镀膜机(配有纯铜靶材) ;气瓶;陶瓷基片;擦镜纸。
3.3试验原理
3.3. 1磁控溅射沉积镀膜机理
磁控溅射系统是在基本的二极溅射系统发展而来,解决二极溅射镀膜速度比蒸镀慢很多、等离子体的离化率低和基片的热效应明显的问题。磁控溅射系统在阴极靶材的背后放置强力磁铁,ito镀膜真空镀膜公司,真空室充入0.1~ 10pa压力的惰性气体(ar),作为气体放电的载体。
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磁控溅射技术一般可以分为两种,接下来我们一一的看一看。直流溅射法是其中之一,它能够做到溅射导体材料,但是对于一些非导体或者绝缘材料,ito镀膜真空镀膜加工平台,会使得表面的电荷无法达到中和状态,甚至不能电离,也就无法做到连续放点电甚至无法放电,所以对于一些绝缘靶材或者一些导电性很差的非金属靶材,就必须使用射频溅射法。这是二者之间一个简单的区别。
溅射镀膜技术在真空状态下工作的时候,荷能粒子轰击靶表面,导致被轰击的粒子在基片上发生沉积。由于被溅射原子是飞溅出来的,而且是在与具有数十电子伏特能量的正离子,所以这种原子的能量要比一般的高,而且对提高沉积时的原子的扩散能力有很---进作用,能够提高沉积组织的致密程度,也使得制出的薄膜有很强的附着力,能够---地附着在基片之上。
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镀膜机是材料科学领域的常见设备,由词而推义镀膜机的主要用途是用于各种化学仪器薄膜的制备,随着近几年科学技术的发展,一种应用电子束直接加热蒸发材料并将蒸发的材料输送到基板上形成一个薄膜的镀膜机设备产生了—电子束镀膜机,并且于2013年10月31日开始投入市场进行广泛的应用。
直至到今天,电子束镀膜机的应用已经有8年的时间了,在这么长时间的投入市场应用之后,关于电子束镀膜机的常见故障以及维修方法,人们已经从中总结了很多,小编在这里给大家做一个汇总。
电子束镀膜机的常见故障要从它的系统组成几个部分说起,系统主要由蒸发真空室、e型电子、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
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