福建硅硅键合微纳加工-半导体研究所-硅硅键合微纳加工代工

mems微纳加工——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工技术的国内应用现状

基于制造业对加工精度的要求日益提高，微纳加工技术应运而生，从诞生至今，其应用领域得到了很大扩展。就国内而言，微纳技术除了应用在微电子技术，生命科学生物工程以及材料应用外，在机电工程领域也有应用，但是受技术水平---，国内的微纳制造技术水平成熟度不够，目前在工业领域的应用比较少。

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飞秒i激光微纳制造技术

飞秒i激光微纳加工制造技术是以微电子，微光学，硅硅键合微纳加工委托加工，微机械为核i心的，集现代光学，电子学，材料学，激光技术，精密机械，计算机技术等多门技术于一体的，是飞秒i激光应用技术领域的---。就目前各个大学的研究现状来看，飞秒i激光微纳制造目前已经形成了各自不同的激光与物质相互作用机制，具体包括微爆i炸机制，热熔机制，色心与缺陷机制等等。科技大学在飞秒i激光双光子光聚合微细加工研究方---有代表性。

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