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mems微纳加工厂——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，电子束---微纳加工代工，---重大技术应用的基础研究，立足于广东省经济社会发展的实际需要，电子束---微纳加工加工，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

微纳加工技术具有---、科技含量高、产品附加值---特点。

微纳加工平台主要提供微纳加工技术工艺，包括光刻、纳米压印、电子束蒸镀、湿法腐蚀、干法腐蚀、表面形貌测量，以及精细雕刻和简单的小型机加工等。该平台的主要任务是适合于生物电子学---基础和应用基础研究的多样性要求，以积极灵活的方式服务于实验室的研究课题，并产生高水平的研究成果，促进生物微流体芯片器件的发展，成为国内生物微流体芯片技术与学术交流和人才培养的重要基地，同时为实验室的学术交流、合作研究提供技术平台和便利条件。

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在我国，微纳制造技术同样是重点发展方向之一。

微纳加工技术是---制造的重要组成部分，是衡量高i级制造业水平的标志之一，具有多学科交叉性和制造要素极i端性的特点，广州电子束---微纳加工，在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、保障国i防安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。比较显然，电子束---微纳加工价格，微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系。微纳加工大致可以分为“自上而下”和“自下而上”两类。“自上而下”是从宏观对象出发，以光刻工艺为基础，对材料或原料进行加工，较小结果尺寸和精度通常由光刻或刻蚀环节的分辨力决定。“自下而上”技术则是从微观出发，通过控制原子、分子和其他纳米对象的相互作用力将各种单元构建在一起，形成微纳结构与器件。

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